Ống lót SiC tinh khiết cao CVD cho lò khuếch tán bán dẫn

Mô tả Sản phẩm Ống lót SIC độ tinh khiết cao CVD Ống lót SIC có độ tinh khiết cao CVD này là lớp lót bên trong cho ống lò nung khuếch tán chất bán dẫn. Bề mặt SIC dày đặc hỗ trợ nội thất buồng đốt nhạy cảm với ô nhiễm trong các môi trường khuếch tán, ôxy hóa và buồng đốt. Các giao diện OD, ID, chiều dài và hàn phù hợp với bản vẽ buồng đốt. Đây là ống lót lò khuếch tán - không phải là xổ số nội thất lò nung truyền thống. Tại sao chọn chúng tôi Tính năng chính • lớp lót SIC độ tinh khiết cao CVD cho lớp lót bên trong lò nung khuếch tán.
• các giao diện OD/ID/L và hàn kín phù hợp với các bản vẽ lò nung.
• được thiết kế cho hoạt động lót lò nung khuếch tán chất bán dẫn.
• lớp lót tùy chỉnh có sẵn để vẽ. Lợi thế sản phẩm Ưu điểm • bề mặt CVD tinh khiết cao cho nội thất buồng đốt nhạy cảm với ô nhiễm.
• hoạt động cùng với cánh nghiền tinh khiết và phần cứng thuyền trong cùng một quá trình nóng.
• các giao diện bít kín và kích thước phù hợp với hình vẽ. Ứng dụng Ứng dụng • ống lót trong lò nung khuếch tán chất bán dẫn.
• khuếch tán / ôxy hóa / môi trường có độ tinh khiết cao.
• lớp lót tùy chỉnh có sẵn để vẽ. Thông số kỹ thuật

Thuộc tính	Điều kiện	Đơn vị	Giá trị
Hàm số cacbua silicon	%	≥99
Kích cỡ hạt trung bình	μm	4–10
Mật độ	kg/dm³	3.14
Độ chân thực rõ ràng	% thể tích	0.085
Độ cứng Vickers	kg/mm²	2480
độ bền uốn 3 điểm*	20 °C	MPa	380
độ bền uốn 3 điểm*	1300 °C	MPa	450
Độ bền nén	20 °C	MPa	3900
Mô-đun đàn hồi	Điểm trung bình	420
Gãy xương cứng cáp	20 °C	MPa m^0.5	5.34
Độ dẫn nhiệt	20 °C	W/(m·K)	160–180
Độ dẫn nhiệt	1300 °C	W/(m·K)	30–40
Điện trở	Ω·cm	10 6–10 8
Hệ số giãn nở nhiệt	RT–1300 °C	10-6/K	4.5
Nhiệt độ dịch vụ tối đa	Khí oxy hóa	°C	1700

Đóng gói & Giao hàngChứng nhậnHồ sơ công ty