Hệ thống lắng đọng hơi hóa học ngang tiên tiến cho sản xuất hiệu quả

Mô tả Sản phẩm

Thiết bị này được thiết kế chủ yếu cho các lớp phủ cacbua silicon trên bề mặt của các chất liệu phủ graphit (hoặc cacbua silicon). Với mức độ tự động hóa cao, thiết bị này cho phép điều khiển hoàn toàn tự động và có thể hoàn tất chỉ bằng một lần nhấn nút. Thiết bị có tính năng phát hiện rò rỉ áp suất dương và âm tự động, cài đặt đường cong nhiệt độ nhiều đoạn và làm nóng liên tục điểm vỡ. Ngoài ra, thiết bị này cho phép thiết lập tốc độ lưu lượng khí và áp suất lò nung cho mỗi phân đoạn, với khả năng điều khiển tự động và chính xác tốc độ lưu lượng khí. Thiết bị được trang bị các chức năng khóa liên động an toàn toàn toàn diện nhằm đảm bảo cả an toàn cho thiết bị và nhân viên.
Thiết bị bao gồm thân lò đốt, hệ thống sưởi và cách nhiệt, hệ thống mạch khí, hệ thống chân không, hệ thống làm mát nước, hệ thống điện/điều khiển, v.v.
Lưu đồ hành động thiết bị như sau:

Phạm vi cung cấp thiết bị cho dự án này như sau:

số sê-ri	tên	mẫu	số lượng	đơn vị
1	Lò nung lắng hóa hơi dạng hơi theo chiều ngang	C2	1	Đài Loan
2	phụ tùng thay thế	C2/B	1	đặt

Thiết kế cơ bản

số sê-ri	Số chuẩn	Tên chuẩn
1	GB 2894	“Hướng dẫn về biển báo an toàn và cách sử dụng chúng”
2	GB 5959.1	“An toàn khi lắp đặt điện và Xử lý điện từ - Phần 1: Yêu cầu chung”
3	GB 5959.4	“An toàn khi lắp đặt hệ thống sưởi điện - Phần 4: Yêu cầu đặc biệt cho hệ thống sưởi chống chịu”
4	GB 18209	“An toàn điện và cơ khí - Hướng dẫn, biển báo và vận hành”
5	GB 50052	“Mã thiết kế hệ thống Nguồn điện”
6	GB 50054	“Mã thiết kế hệ thống điện hạ thế”
7	GB 50055	“Mã thiết kế phân phối điện cho thiết bị sử dụng cho mục đích chung”
8	GB 50093	“Mã để xây dựng và chấp nhận chất lượng của kỹ thuật thiết bị tự động hóa”
9	GB 50169	“Mã xây dựng và chấp nhận thiết bị điện kết nối tiếp đất Kỹ thuật lắp đặt"
10	GB 5226.1	“An toàn điện và cơ khí - thiết bị cơ khí và điện - Phần 1: Điều kiện kỹ thuật chung”
11	GB 50231	“Mã chung về xây dựng và chấp nhận lắp đặt thiết bị cơ khí Kỹ thuật"
12	GB 50254	“Mã xây dựng và chấp nhận thiết bị điện áp thấp Kỹ thuật lắp đặt"
13	GB 10066.1	“phương pháp kiểm tra thiết bị xử lý điện nhiệt và điện từ - Phần 1: Phần chung”
14	GB 10066.4	“phương pháp thử nghiệm lắp đặt điện - Phần 4: Lò nung điện trở gián tiếp”
15	GB/T 10067.1	“các điều kiện kỹ thuật cơ bản cho thiết bị xử lý điện nhiệt và điện từ - Phần 1: Phần chung”
16	GB/T 10067.4	“các điều kiện kỹ thuật cơ bản cho các thiết bị điện nhiệt - Phần 4: Lò luyện điện gián tiếp”
17	GB/T 25295	“Hướng dẫn thiết kế an toàn cho thiết bị điện”
18	GB/T 4208	“mức độ bảo vệ được cung cấp bởi vỏ máy (mã IP)”
19	GB/T 50056	“Mã thiết kế hệ thống điện cho hệ thống sưởi điện Thiết bị"
20	GB/T 50065	“Mã thiết kế tiếp đất cho thiết bị điện AC”
21	GBJ 65	“Bộ quy tắc thiết kế tiếp đất Công nghiệp và Công dân Cài đặt"
22	GB/T 13384	“Điều kiện kỹ thuật chung để đóng gói các sản phẩm điện và cơ khí"
23	GB/T 9452	“phương pháp đo vùng gia nhiệt hiệu quả của điều trị nhiệt Lò nung"
24	GB/T 20878	“thép không gỉ - cấp độ phủ và thành phần hóa học”
25	JB/T 2851	“Thùng điều khiển nhiệt độ réverace điện năng công nghiệp”
26	GB/T3163	“Công nghệ chân không - thuật ngữ"
27	GB/T 6070	“kích thước gờ công nghệ hút chân không”
28	HG/T 20507	“thông số kỹ thuật thiết kế để lựa chọn công cụ tự động”
29	HG/T 20509	“thông số kỹ thuật thiết kế cho nguồn điện dụng cụ”
30	HG/T 20510	“thông số kỹ thuật thiết kế cho nguồn cấp khí dụng cụ”
31	HG/T 20511	“thông số kỹ thuật thiết kế cho cảnh báo tín hiệu và hệ thống khóa liên động”
32	HG/T 20512	“thông số kỹ thuật thiết kế cho đường ống dụng cụ và dây dẫn”
33	HG/T 20513	“Mã thiết kế cho hệ thống dụng cụ nối đất”
34	JB/T 10550	“Công nghệ chân không - nung kết máy bằng chân không”