Càng gắp wafer phía sau, đầu công tác Sic

Mô tả Sản phẩm SIC Robot Arm for Semiconductor/PV Back-End service Cánh tay robot SIC này là thành phần xử lý cacbua bằng silicon có độ cứng cao dành cho chất bán dẫn và dịch vụ chuyển và thay thế tấm wafer PV. Các mô-đun cao và độ ổn định kích thước giữ cho các giao diện luôn thực sự theo tải nhiệt và cơ khí, với hình học phù hợp với các bản vẽ thiết bị. Các loại phụ kiện này bao gồm các nhánh wafer, tay nâng kép/đơn và tay wafer PV; cũng có sẵn tùy chọn đầu trước hiệu ứng đầu có độ chính xác cao. Các giao diện có sẵn để vẽ. Tính năng chính • tay gắn kết cấu SIC cho các công cụ xử lý tấm wafer/PV. • các loại càng: Càng, cánh tay hai/một chạc, cánh tay tấm wafer PV.
• Bộ tạo hiệu ứng đầu trước có độ chính xác cao tùy chọn dành cho dụng cụ nhà máy.
• Giao diện và hình học OEM có sẵn để vẽ. Ưu điểm • kết cấu SIC độ cứng cao cho đường dẫn xử lý chính xác.
• hỗ trợ dịch vụ/thay thế đầu sau và hiệu ứng đầu trước đã chọn.
• có sẵn các cánh tay tùy chỉnh để vẽ cho các bộ hiệu ứng đầu không chuẩn. Ứng dụng • Dịch vụ xử lý và thay thế các tấm wafer bán dẫn/PV phụ.
• Bộ hiệu ứng đầu dụng cụ Fab (tùy chọn chính xác cao ở nơi được chỉ định).
• cánh tay OEM tùy chỉnh có sẵn để vẽ. Thông số kỹ thuật

Thuộc tính	Điều kiện	Đơn vị	Giá trị
Hàm số cacbua silicon	%	≥99
Kích cỡ hạt trung bình	μm	4–10
Mật độ	kg/dm³	3.14
Độ chân thực rõ ràng	% thể tích	0.085
Độ cứng Vickers	kg/mm²	2480
độ bền uốn 3 điểm*	20 °C	MPa	380
độ bền uốn 3 điểm*	1300 °C	MPa	450
Độ bền nén	20 °C	MPa	3900
Mô-đun đàn hồi	Điểm trung bình	420
Gãy xương cứng cáp	20 °C	MPa m^0.5	5.34
Độ dẫn nhiệt	20 °C	W/(m·K)	160–180
Độ dẫn nhiệt	1300 °C	W/(m·K)	30–40
Điện trở	Ω·cm	10^6–10^8
Hệ số giãn nở nhiệt	RT–1300 °C	10^-6/K	4.5
Nhiệt độ dịch vụ tối đa	Khí oxy hóa	°C	1700

Chứng nhậnDịch vụ sau bán hàngHồ sơ công ty