Bộ phận ống crucible Pbn Substrate cho thiết bị bán dẫn

Các bộ phận ống chất nền PBN cho thiết bị chất bán dẫn

Thông số kỹ thuật

Có thể điều chỉnh LEC PBN

1. Cực đoan độ tinh khiết cao

2. Nhiệt độ cao

3. Khả năng chịu nhiệt tuyệt vời

4. Hóa chất không phù hợp

Lợi thế

Không độc hại

Độ tinh khiết cao

Mật độ thấp

Hóa học

Không xốp

Một trong những cường độ điện môi cao nhất được biết đến

Khả năng dẫn nhiệt tốt

Độ bền kéo tăng với nhiệt độ

Khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời

Khả năng chống ô-xy hóa cao

Đáng kể sự rò rỉ khí

Isotropy thuận lợi (điện, cơ khí và nhiệt)

Nó được tạo ra ở dạng ép nóng và các thuộc tính vật liệu thu được tạo ra đẳng hướng so với hướng ép. Trên thực tế, các thuộc tính vật liệu có thể thay đổi đáng kể tùy theo hướng hoặc cấp độ của vật liệu. Tiện ích này được gia công dễ dàng thành hình dạng phức tạp bằng dụng cụ cacbua tiêu chuẩn. Nhiệt độ vận hành từ 900°C đối với môi trường oxy hóa đến 2200°C đối với môi trường trơ.CÁC ĐẶC TÍNH KỸ thuật

Loại	99BN	CBN	ABN	ZBN
Nội dung chính	BN>99%	BN>98.5%	BN+AlN	BN+ZrO2
Bìa rời	B2O3	CaB2O6	ALBO3	B2O3
Mật độ (g/cm3)	1.95-2.0	2.0-2.1	2.6	2.95
Sức bền uốn (MPa)	30	100	200	200
Độ bền nén (MPa)	100	280	350	380
Điện trở (ohm.cm)	>10^14	>10^13	>10^14	>10^12
Tối đa Nhiệt độ làm việc (°C) không khí	900	900	900	1000
Tối đa Nhiệt độ làm việc (°C) khí trơ	2400	2400	2100	1800
Tối đa Nhiệt độ làm việc (°C) chân không	2200	2200	1900	1800
Độ dẫn nhiệt (W/m.K)	20	35	50	30
Hệ số mở rộng 25 - 1000 °C (10^-6/K)	1.5	2	4.5	2